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南智先進光電集成技術研究院
現有的納米加工和納米表征潔凈室面積超過3000平方米。潔凈室千級區(qū)的溫度波動范圍可以維持在±0.5℃/h，百級區(qū)溫度可維持在±0.3℃/h，電子束光刻區(qū)域為±0.1℃/h。微納加工潔凈室設備包含光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見微納加工設備。
致力于成為中國實驗室建設領域的引領者