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南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院
現(xiàn)有的納米加工和納米表征潔凈室面積超過(guò)3000平方米。潔凈室千級(jí)區(qū)的溫度波動(dòng)范圍可以維持在±0.5℃/h，百級(jí)區(qū)溫度可維持在±0.3℃/h，電子束光刻區(qū)域?yàn)?plusmn;0.1℃/h。微納加工潔凈室設(shè)備包含光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見(jiàn)微納加工設(shè)備。
致力于成為中國(guó)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)領(lǐng)域的引領(lǐng)者